izvor podataka: crosbi
✓
Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator (CROSBI ID 240950)
Prilog u časopisu | izvorni znanstveni rad | međunarodna recenzija
Schramm, Jeff E. ; Babić, Dubravko I. ; Hu, Evelyn L. ; Merz, James L.
Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator // Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films, 11 (1993), 5; 2858-2859. doi: 10.1116/1.578655
Podaci o odgovornosti
Schramm, Jeff E. ; Babić, Dubravko I. ; Hu, Evelyn L. ; Merz, James L.
engleski
Reactive ion etcher self‐bias voltage regulator
xx
Voltage regulator
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
Podaci o izdanju
11 (5)
1993.
2858-2859
objavljeno
0734-2101
10.1116/1.578655
Povezanost rada
nije evidentirano
Poveznice
Indeksiranost
