izvor podataka: crosbi
!
Reactive Sputtering of Si/SiNx Quarter-wave Dielectric Mirrors using in-situ Laser Reflectometry (CROSBI ID 650355)
Prilog sa skupa u zborniku | izvorni znanstveni rad | međunarodna recenzija
Babic, D. I. ; Reynolds, T. E. ; Hu, E. L. ; Bowers, J. E.
Reactive Sputtering of Si/SiNx Quarter-wave Dielectric Mirrors using in-situ Laser Reflectometry // Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering. 1992. str. 194-201
Podaci o odgovornosti
Babic, D. I. ; Reynolds, T. E. ; Hu, E. L. ; Bowers, J. E.
engleski
Reactive Sputtering of Si/SiNx Quarter-wave Dielectric Mirrors using in-situ Laser Reflectometry
Reactive Sputtering of Si/SiNx Quarter-wave Dielectric Mirrors using in-situ Laser
Mirrors ; Laser ; Reflectometry ; Optics ; Electronics
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
Podaci o prilogu
194-201.
1992.
objavljeno
Podaci o matičnoj publikaciji
Proceedings of the SPIE Technical Symposium on Microelectronic Processing Integration
0277-786X
Podaci o skupu
SPIE Technical Symposium on Microelectronic Processing Integration
predavanje
01.01.1992-01.01.1992
San Jose (CA), Sjedinjene Američke Države
