hrvatski

MEHANIČKA SVOJSTVA Al-(Nb, Mo, Ta, W)TANKIH FILMOVA

Tanki filmovi AlxNb1-x (95  x  20), AlxMo1-x (90  x  20), AlxTa1-x (95  x  20), AlxW1-x (50 x  80), dobiveni su magnetronskom depozicijom na sobnoj temperaturi korištenjem uređaja za depoziciju CMS 18. Struktura filmova ispitana je rentgentskim zračenjem, i ustanovljeno je da su filmovi AlNb amorfni u području od 30% do 85% udjela aluminija, dok su potpuno kristalni filmovi Al95Nb5 i Al20Nb80. Filmovi AlMo amorfni u području od 45% do 85% udjela aluminija, a potpuno kristalni filmovi su Al90Mo10 i Al40Mo60. Za AlTa amorfno je područje od 40% do 85% udjela aluminija, a kristalno Al95Ta5 i Al40Ta60. AlW filmovi amorfni su u području od 65% do 80% udjela aluminija, a kristalni su uzorci Al60W40 i Al50W50. Kod svih kombinacija između granica potpuno amorfnih i kristalnih filmova nalazi se područje u kojem su kristalna i amorfna faza mješane. Debljine filmova i naprezanja mjerena su na instrumentu Rank Taylor Hobson Form Talysurf. Debljine uzoraka kreću se prosječno od 325 do 400 nm, ovisno o sastavu. Naprezanja u AlMo i AlNb uzorcima su dominantno vlačnog tipa dok u AlTa naprezanja su dominantno tlačna. Mikrotvrdoća (opterećenje 2mN) mjerena je uređajem Mitutoyo MVK-H2. Mikrotvrdoće AlW i AlTa filmova, u amorfnom području, više su od virjednosti tvrđeg elementa u kombinaciji (W, Ta). Kod AlNb i AlMo filmova tvrdoća je dominantno pod utjecajem tvrđeg elementa i kontinuirano opada sa povećanjem udijela aluminija. Udio elastične energije u tvrdoći kreće se od približno 20% kod AlMo do 60% kod AlTa filmova.

Tanki filmovi; mehanička svojstva

nije evidentirano