izvor podataka: crosbi
!
First LIGA-microstructures produced at Elettra (CROSBI ID 516801)
Neobjavljeno sudjelovanje sa skupa | neobjavljeni prilog sa skupa
El-Kholi, A. ; De Carlo, F. ; Flockerzi, H. ; Mohr, J. ; Zelenika, Saša ; et al.
First LIGA-microstructures produced at Elettra // 3rd Elettra Users' Meeting
Trst, Italija, 04.12.1995-05.12.1995
Podaci o odgovornosti
El-Kholi, A. ; De Carlo, F. ; Flockerzi, H. ; Mohr, J. ; Zelenika, Saša ; et al.
engleski
First LIGA-microstructures produced at Elettra
The first microstructures produced by employing deep X-ray lithography (the LIGA technique) are presented. The main features of the production technique and of the obtained micromechanical devices are illustrated.
deep X-ray lithography; beamline design; microstructures
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
nije evidentirano
Podaci o prilogu
nije evidentirano
nije evidentirano
Podaci o skupu
3rd Elettra Users' Meeting
poster
04.12.1995-05.12.1995
Trst, Italija
Povezanost rada
Povezane osobe
Povezane ustanove
