hrvatski

Proizvodnja uzoraka u nanofizici

Dan je pregled osnovnih pojava u fizici minijaturiziranih sustava. U detalje je opisana najčešća metoda proizvodnje uzoraka submikronskih dimenzija, s posebnim naglaskom na litografiju elektronskim snopom. Osmišljen je prikaz glavnih koraka u tom procesu, primjeren stupnju znanja fizike u završnim razredima srednje škole, kako bi se učenici na primjeren način upoznali s fizikalnim postavkama minijaturizacije uzoraka.

nanofizika; pretražni elektronski mikroskop; litografija; depozicija tankih slojeva

nije evidentirano