Nalazite se na CroRIS probnoj okolini. Ovdje evidentirani podaci neće biti pohranjeni u Informacijskom sustavu znanosti RH. Ako je ovo greška, CroRIS produkcijskoj okolini moguće je pristupi putem poveznice www.croris.hr
izvor podataka: crosbi !

TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima (CROSBI ID 557900)

Prilog sa skupa u zborniku | sažetak izlaganja sa skupa

Siketić, Zdravko ; Bogdanović Radović, Ivančica ; Jakšić, Milko TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima // Knjiga sažetaka / Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor (ur.). Zagreb: Hrvatsko fizikalno društvo, 2009. str. 51-x

Podaci o odgovornosti

Siketić, Zdravko ; Bogdanović Radović, Ivančica ; Jakšić, Milko

hrvatski

TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima

Time of flight (TOF) Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) je spektroskopska metoda za određivanje dubinskih profila i koncentracija elemenata u površinskim dijelovima uzoraka. Analiza se bazira na zračenju uzorka snopom teških iona (Cl, I, Au..), te koincidentnoj detekciji vremena proleta i energije izbijenih atoma iz mete. Vremenski/energijski spektar pojedine vrste atoma se pretvara u dubinski profil korištenjem poznatog gubitka energije po jedinici puta u materijalu. Zbog velike zaustavne moći, ulaznih i izlaznih iona, ova metoda ima razlučivost od nekoliko nm pri samoj površini za ugljik, dušik ili kisik. TOF-ERDA spektrometar je instaliran na Tandem Van de Graaff akceleratoru IRB-a, te se sastoji od dvije vremenske stanice (L=523 mm) za mjerenje vremena proleta, te poluvodičkog čestičnog detektora za određivanje energije. Prilikom prolaska atoma kroz tanku ugljikovu foliju (10 nm) emitiraju se elektroni koji služe za okidanje vremenskog start i stop signala. Dizajn vremenske stanice napravljen je prema Ref. [1], gdje se kao pojačalo elektrona koristi Microchannel Plate (MCP) detektor. Jedan od nedostataka ovakvog spektrometra je mala efikasnost detekcije za vodik. Efikasnost za vodik je značajno povećana naparivanjem dobrog elektronskog emitera LiF na ugljikovu foliju. Postignuto povećanje efikasnosti je 2 do 3 puta i ovisno je o energiji izbijenih atoma vodika. Također će biti prikazane karakteristike TOF ERDA sistema (vremenska, masena, dubinska rezolucija te efikasnost). Ujedno će biti pokazani nedavno mjereni dubinski profili AlN/TiN slojeva (20 nm) mjereni 25 MeV I ionima.

TOF ERDA; teški ioni; nanometri; tanki slojevi

nije evidentirano

engleski

TOF ERDA- depth profiling of surface layers by heavy ions

nije evidentirano

TOF ERDA; heavy ions; nanometers; thin layers

nije evidentirano

Podaci o prilogu

51-x.

2009.

nije evidentirano

objavljeno

978-953-7178-12-3

Podaci o matičnoj publikaciji

Knjiga sažetaka

Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor

Zagreb: Hrvatsko fizikalno društvo

Podaci o skupu

6. znanstveni sastanak Hrvatskog Fizikalnog društva

predavanje

08.10.2009-11.10.2009

Primošten, Hrvatska

Povezanost rada

Fizika