TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima (CROSBI ID 557900)
Prilog sa skupa u zborniku | sažetak izlaganja sa skupa
Podaci o odgovornosti
Siketić, Zdravko ; Bogdanović Radović, Ivančica ; Jakšić, Milko
hrvatski
TOF ERDA – dubinsko profiliranje površinskih slojeva teškim ionima
Time of flight (TOF) Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) je spektroskopska metoda za određivanje dubinskih profila i koncentracija elemenata u površinskim dijelovima uzoraka. Analiza se bazira na zračenju uzorka snopom teških iona (Cl, I, Au..), te koincidentnoj detekciji vremena proleta i energije izbijenih atoma iz mete. Vremenski/energijski spektar pojedine vrste atoma se pretvara u dubinski profil korištenjem poznatog gubitka energije po jedinici puta u materijalu. Zbog velike zaustavne moći, ulaznih i izlaznih iona, ova metoda ima razlučivost od nekoliko nm pri samoj površini za ugljik, dušik ili kisik. TOF-ERDA spektrometar je instaliran na Tandem Van de Graaff akceleratoru IRB-a, te se sastoji od dvije vremenske stanice (L=523 mm) za mjerenje vremena proleta, te poluvodičkog čestičnog detektora za određivanje energije. Prilikom prolaska atoma kroz tanku ugljikovu foliju (10 nm) emitiraju se elektroni koji služe za okidanje vremenskog start i stop signala. Dizajn vremenske stanice napravljen je prema Ref. [1], gdje se kao pojačalo elektrona koristi Microchannel Plate (MCP) detektor. Jedan od nedostataka ovakvog spektrometra je mala efikasnost detekcije za vodik. Efikasnost za vodik je značajno povećana naparivanjem dobrog elektronskog emitera LiF na ugljikovu foliju. Postignuto povećanje efikasnosti je 2 do 3 puta i ovisno je o energiji izbijenih atoma vodika. Također će biti prikazane karakteristike TOF ERDA sistema (vremenska, masena, dubinska rezolucija te efikasnost). Ujedno će biti pokazani nedavno mjereni dubinski profili AlN/TiN slojeva (20 nm) mjereni 25 MeV I ionima.
TOF ERDA; teški ioni; nanometri; tanki slojevi
nije evidentirano
engleski
TOF ERDA- depth profiling of surface layers by heavy ions
nije evidentirano
TOF ERDA; heavy ions; nanometers; thin layers
nije evidentirano
Podaci o prilogu
51-x.
2009.
nije evidentirano
objavljeno
978-953-7178-12-3
Podaci o matičnoj publikaciji
Knjiga sažetaka
Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor
Zagreb: Hrvatsko fizikalno društvo
Podaci o skupu
6. znanstveni sastanak Hrvatskog Fizikalnog društva
predavanje
08.10.2009-11.10.2009
Primošten, Hrvatska