Nalazite se na CroRIS probnoj okolini. Ovdje evidentirani podaci neće biti pohranjeni u Informacijskom sustavu znanosti RH. Ako je ovo greška, CroRIS produkcijskoj okolini moguće je pristupi putem poveznice www.croris.hr
izvor podataka: crosbi !

Tanki filmovi SiOx pripravljeni magnetronskim rasprašenjem (CROSBI ID 559470)

Prilog sa skupa u zborniku | sažetak izlaganja sa skupa | domaća recenzija

Radić, Nikola ; Siketić, Zdravko ; Bogdanović-Radović, Ivančica ; Buljan, Maja ; Desnica, Uroš V. ; Slunjski, Robert ; Pivac, Branko ; Zorc, Hrvoje Tanki filmovi SiOx pripravljeni magnetronskim rasprašenjem // Zbornik sažetaka 6. Znanstvenog sastanka HFDa / Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor (ur.). Zagreb: Hrvatsko fizikalno društvo, 2009. str. 86-86

Podaci o odgovornosti

Radić, Nikola ; Siketić, Zdravko ; Bogdanović-Radović, Ivančica ; Buljan, Maja ; Desnica, Uroš V. ; Slunjski, Robert ; Pivac, Branko ; Zorc, Hrvoje

hrvatski

Tanki filmovi SiOx pripravljeni magnetronskim rasprašenjem

Silicijevi oksidi su vrlo koristan materijal u mikroelektronici i optoelektronici zbog mogućnosti mijenjanja električnog otpora i optičkih osobina promjenom udjela kisika. Pri tome se SiOx<2 slojevi pretežno koriste kao pasivacijski sloj u MIS sklopovima, kao "potrošni" sloj u MEMS tehnologiji, ili kao početni materijal za formiranje kristalnih Si nanočestica u SiO2 matrici, dok se stehiometrijski SiO2 koristi kao izolator u mikroelektronici, optičke presvlake, ili kao podloga za heterogenu katalizu. Pri tome je magnetronsko rasprašenje osobito podesno za depoziciju na velikoj površini. Korištenjem različitih meta za rasprašivanje (Si, SiO, SiO2), u pojedinačnom ili kodepozicijskom režimu, te variranjem udjela kisika u Ar+O2 plazmi, postiže se precizna kontrola sastava SiOx filmova.

SiOx; tanki film; magnetronsko rasprašenje

nije evidentirano

engleski

Thin films of SiOx prepared by magnetron sputtering

nije evidentirano

SiOx; thin film; magnetron sputtering

nije evidentirano

Podaci o prilogu

86-86.

2009.

objavljeno

Podaci o matičnoj publikaciji

Zbornik sažetaka 6. Znanstvenog sastanka HFDa

Buljan, Hrvoje ; Horvatić, Davor

Zagreb: Hrvatsko fizikalno društvo

978-953-7178-12-3

Podaci o skupu

6. znanstveni sastanak Hrvatskog Fizikalnog društva

poster

08.10.2009-11.10.2009

Primošten, Hrvatska

Povezanost rada

Fizika