hrvatski

Spektroskopija elastično izbijenih iona mjerenjem vremena proleta

Spektroskopija elastični izbijenih iona mjerenjem vremena proleta (engl. Time-offlight Elastic Recoil Detection Analysis, TOF-ERDA) je metoda koja se bazira na ozračavanju uzorka snopom teških iona (Cl, I, Au..), energija 1 MeV/A, te istovremenoj detekciji vremena proleta i energije iona izbijenih iz mete. Vremenski/energijski spektar pojedine vrste izbijenih atoma pretvara se u dubinski profil korištenjem poznatog gubitka energije po jedinici puta u materijalu. Mjerenjem vremena proleta različiti atomi osim po energiji odvajaju se i po masi pa se tako mogu dobiti dubinski profili svih elemenata u samo jednom mjerenju. Zbog velike zaustavne moći kako ulaznih tako i izbijenih iona ova metoda ima razlučivost od svega nekoliko nm pri samoj površini. Osim izrade samog TOF-ERDA spektrometra u ovom radu napravljene su i bitne promjene spektrometra koje će omogućiti osjetljivo dubinsko profiliranje i najlakših elemenata (vodika i njegovih izotopa). Dobiveno je poboljšanje efikasnosti za faktor 4 u odnosu na dosadašnje postojeće sustave. Također, radi postizanja dubinske rezolucije od samo 1 nm napravljen je pozicijski osjetljiv detektor za kinematičku korekciju raspršenja. Korištenjem pozicijsko osjetljivog detektora, dobiveno je poboljšanje dubinske razlučivosti pri površini za ~ 20%. Još veća poboljšanja dubinske razlučivosti mogu se očekivati za veće prostorne kuteve.

Elastično izbijanje iona ; TOF-ERDA ; Intrinzična vremenska razlučivot ; Dubinska razlučivost ; Masena razlučivost ; Relativna efikasnost detekcije ; LiF ; Detekcija vodika ; SIMNRA ; FINLANDIA ; CORTEO ; Mikrokanalni detektor ; Pozicijski osjetljiv detektor ; Kinematička poprav

nije evidentirano