hrvatski

PROSTORNO I VREMENSKI RAZLUCIVA SPEKTROSKOPSKA KARAKTERIZACIJA NISKOTLACNIH HLADNIH PLAZMI

U ovoj disertaciji predstavlja se izrada i primjena novog eksperimentalnog urežaja za obradu uzoraka pomocu induktivno vezane niskotlacne hladne plazme. Urežaj omogucuje pracenje i karakterizaciju procesa mežudjelovanja hladne plazme s površinom uzorka. Primarna metoda karakterizacije je opticka emisijska spektroskopija. Spektralne znacajke plazme su prostorno i vremenski razlucene pomocu minijaturnih spektrometara. Spektralna karakterizacija plazme je usporežena sa mjerenjima koncentracije atoma pomocu katalitickih sondi. Izmjereni parametri korišteni su za optimizaciju procesa mežudjelovanja hladne plazme i uzorka, a posebna pozornost usmjerena je na istraživanje povratnog utjecaja uzorka na plazmu.

Opticka emisijska spektroskopija; hladna plazma; radio frekventna induktivno vezana plazma; atomski i molekularni procesi.

nije evidentirano